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飛納掃描電鏡超景深成像模式,輕鬆看到樣品的全部細節

發布時間: 2024-07-02  點擊次數: 1063次

掃描電鏡作為一種基礎顯微成像工具,因具有超高的放大能力,從而被高校、科研院所、材料研發和質量分析部門廣泛用於研發、生產過程。

 

相比於光學放大器件,掃描91香蕉视频破解版使用電子束進行成像,放大、分辨能力比光學顯微鏡有非常大的提升。

 

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圖 1 金相樣品光學顯微鏡圖像 (左) 和掃描電鏡圖像 (右)

 

景深是一種普適用於所有的光學成像儀器的概念。所謂景深,就是照片中清晰圖像的範圍,景深越大,91香蕉视频APP下载看到的視野中清晰的範圍就越大,或稱景深分辨能力強;反之,景深越小(淺),視野範圍中能夠清晰的範圍越狹小,成像器材的景深分辨能力越弱(圖2)。

 

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圖 2 小景深和大景深

 

光學元件中,隻有一個參數會直接影響景深分辨能力,那就是光束的收斂角的大或小。光束到達焦點後,收斂角越小,其得到的景深越深,例如在照相機中,光圈直徑的減小會直接將收斂角減小,景深則越深(如圖 3)。

 

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圖 3 照相機中光圈對景深的影響示意圖

 

與光學顯微鏡相比,掃描電鏡的成像介質(電子束)的匯聚性非常好,因此到達樣品表麵的電子束收斂角通常非常小,因而電鏡的景深分辨能力往往比光學顯微鏡強(圖4)。

 

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圖 4 掃描電鏡 (右) 明顯比光學顯微鏡 (左) 具有更好的景深分辨能力

 

但是,91香蕉视频APP下载也同樣需要明確,掃描電鏡的景深分辨能力並非無限大。在遇到一些極其特殊的樣品時,比如幾乎垂直放置的多層膜材料(圖 5),即使是掃描電鏡也難以表現其全部細節。

 

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圖5 近乎垂直放置的多層膜材料截麵

 

Phenom 飛納電鏡為了應對這一問題,開發了超景深成像模式。在該模式下,掃描電鏡可以根據樣品景深進行全視野掃描,並自動計算視野所有位置上可以獲得最清晰圖像的工作距離,隨後連續自動曝光,最終得到理論景深無限製的掃描電鏡圖像。圖 6 展示了超景深模式開啟前和開啟後的圖像對比。

 

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 超景深模式開啟前

 

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超景深模式開啟後

  

超景深圖像可以滿足大景深成像的應用場景,比如金屬、水泥等材質的拉伸斷口這類縱深較大的樣品成像及分析(圖 8),獲得超景深圖像可以使研究人員輕鬆看到此類樣品的全部細節。

 

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圖 8 超景深使用場景 (左:複雜形狀截麵;右:多種材料拉伸斷口)


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